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      TA4030F-01-03_3軸大氣圓柱坐標單臂晶圓搬運機器人

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      TA4030F-01-03_3軸大氣圓柱坐標單臂晶圓搬運機器人

      TA4030F-01-03_3軸大氣圓柱坐標單臂晶圓搬運機器人,自主研發(fā)安全可控,可全面替代進口品牌。

      產(chǎn)品描述


      3軸大氣圓柱坐標單臂晶圓搬運機器人
      TA4030F-01-03_TA系列半導體機器人
       
      • ● 采用閉環(huán)伺服控制
      • ● 可選配免電池絕對式編碼器
      • ● 可根據(jù)設備布局定制底座和伸展軸行程
      • ● 末端執(zhí)?器類型:下托式

      臂長

      200/260/320/400mm

        額定/最大負載

       3kg

      搬運物

      ≤Φ300mm晶圓

      新時達眾為興TA4030F-01-03_3軸大氣圓柱坐標單臂晶圓搬運機器人

      關(guān)鍵詞:

      新時達眾為興TA4030F-01-03_3軸大氣圓柱坐標單臂晶圓搬運機器人

      規(guī)格參數(shù)

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